AXCELIS宣布向日厂商发运功率注入机

Purion Power系列具有300mm薄晶圆处理能力
AXCELIS宣布向日厂商发运功率注入机

马萨诸塞州比佛利2022年3月31日 /美通社/ — 半导体行业离子注入支持解决方案的领先供应商Axcelis Technologies, Inc.(纳斯达克股票代码:ACLS)今天宣布,公司向日本领先的功率设备芯片制造商发运其Purion XE™高能和Purion M™中等电流Power Series™注入机。这些系统将用于大批量生产基于300mm薄硅晶圆的MOSFET和IGBT设备,以用于汽车和其他功率管理应用。

产品开发执行副总裁Bill Bintz表示:“Purion Power系列的独特功能,结合功率设备领域的密集注入特性,将赋予Axcelis独特的条件来从这一市场的增长中受益。这些工具集成了多项功能和工艺控制能力,包括该平台为功率设备市场提供支持的薄晶圆处理能力。我们期待扩大Purion平台在日本的业务范围,并支持我们客户实现提高制造能力的目标。”

关于Axcelis:
Axcelis(纳斯达克股票代码:ACLS)的总部位于马萨诸塞州比弗利。40多年来,公司一直为半导体行业提供创新的高生产率解决方案。Axcelis致力于通过对离子注入系统的设计、制造和完整的生命周期支持来开发工艺应用支持功能,这是IC制造工艺中最关键和最具价值的阶段之一。如需了解更多关于Axcelis的信息,请访问www.axcelis.com。

联系人:

Maureen Hart(编辑/媒体)978.787.4266
Doug Lawson(投资者关系)978.787.9552

 

 

消息来源 : Axcelis Technologies, Inc.

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